MUEGGE 等离子元件
双等离子体的组合可以用于获得二维等离子体阵列。单个源以及2个，4个和8个平行排列的等离子体可用于等离子体辅助表面处理，如表面活化，蚀刻和沉积。双等离子体是不使用磁场的直接微波等离子体源。在简化的描述中......
- 型号：
- 品名：等离子元件
- 品牌：MUEGGE
- 产地：德国
- 货期： 请联系确认
- 价格：需报价
双等离子体的组合可以用于获得二维等离子体阵列。单个源以及2个，4个和8个平行排列的等离子体可用于等离子体辅助表面处理，如表面活化，蚀刻和沉积。双等离子体是不使用磁场的直接微波等离子体源。在简化的描述中，它类似于由微波激发的反向发光管，双等离子体通常在约1000Pa至10Pa的低压下操作。由两个磁控管产生的具有2.45GHz频率的微波在两端被馈送到等离子体线中。在外部低压状态下放电点火，随着微波功率的增加，等离子体从沿着管的两端增长，并且形成轴向均匀的等离子体。
低压微波等离子体源
可扩展和紧凑的设计
大面积应用
高等离子体密度
高效率
低伤害
轻松适应定制系统
相关规格参数
频率：915MHz / 2450MHz / 5800MHz
HF-输入功率：典型2 kW/ m @ 1 mbar
波导：同轴8/26
过程压力：典型值0.1 mbar - 1 mbar
等离子体密度：在2450MHz时高达1012/ cm3
典型的过程气体：ArO 2，N 2 H 2，NH 3，SiH 4，HMDSO
电子温度：~2eV
同质性：优于5％
材料：
腔室：铝
气体喷淋：铝
等离子体源：石英，AL2O3
冷却：水/空气合并
连接器：
同轴8/26（微波）
接头套管（水，空气，气体）
尺寸：客户特定
MW电源元件
MUEGGE短路活塞MW2009D-260ED
供应商
深圳市普索进出口贸易有限公司（普索贸易）是一家专业经营工控行业备件进口的公司，公司依托德国分公司在欧盟区域常年的采购经验，与欧盟境内3000多个工控品牌，5000多家供应商建立起长久的合作，为客户提供100％原装正品的工业产品及零部件的同时提供最优质的价格及服务。客户应用领域包含：汽车制造、轨道交通、食品制药、环保监测、船舶制造、石油电力、机械纺织、高校、研究所等工控自动化行业。
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采购指引
1. 采购MUEGGE 等离子元件品牌产品时应注意区分相似品牌或者名称相同的品牌，以防止采购错误的品牌,产生不不必要的损失；
2. 向我们询价时，请向我们提供详尽的MUEGGE 等离子元件品牌产品信息，具体型号、订货号、参数、铭牌、照片以及主体、配件等信息。
3. MUEGGE 等离子元件采购询价方式：
① 微信询价：扫描下方的二维码联系我们进行询价。
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